ফটোরেজিস্ট ওভারভিউ
ফটোরেসিস্ট, যা ফটোরেসিস্ট নামেও পরিচিত, একটি পাতলা ফিল্ম উপাদানকে বোঝায় যার দ্রাব্যতা UV আলো, ইলেকট্রন রশ্মি, আয়ন রশ্মি, এক্স-রে বা অন্যান্য বিকিরণের সংস্পর্শে এলে পরিবর্তিত হয়।
এটি একটি রজন, একটি ফটোইনিশিয়েটার, একটি দ্রাবক, একটি মনোমার এবং অন্যান্য সংযোজন দ্বারা গঠিত (টেবিল 1 দেখুন)। ফটোরেসিস্ট রজন এবং ফটোইনিশিয়েটার হল ফটোরেসিস্ট কর্মক্ষমতা প্রভাবিতকারী সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ উপাদান। এটি ফটোলিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার সময় একটি ক্ষয়-বিরোধী আবরণ হিসাবে ব্যবহৃত হয়।
অর্ধপরিবাহী পৃষ্ঠতল প্রক্রিয়াকরণের সময়, একটি উপযুক্তভাবে নির্বাচিত ফটোরেজিস্ট ব্যবহার করে পৃষ্ঠের উপর পছন্দসই চিত্র তৈরি করা যেতে পারে।
টেবিল ১.
| ফটোরেজিস্ট উপাদান | কর্মক্ষমতা |
| দ্রাবক | এটি ফটোরেসিস্টকে তরল এবং উদ্বায়ী করে তোলে এবং ফটোরেসিস্টের রাসায়নিক বৈশিষ্ট্যের উপর প্রায় কোনও প্রভাব ফেলে না। |
| ফটোইনিশিয়েটার | এটি ফটোসেনসিটাইজার বা ফটোকিউরিং এজেন্ট নামেও পরিচিত, এটি ফটোরেজিস্ট উপাদানের আলোক সংবেদনশীল উপাদান। এটি এক ধরণের যৌগ যা মুক্ত র্যাডিকেল বা ক্যাটায়নে পচে যেতে পারে এবং একটি নির্দিষ্ট তরঙ্গদৈর্ঘ্যের অতিবেগুনী বা দৃশ্যমান আলোক শক্তি শোষণের পরে মনোমারগুলিতে রাসায়নিক ক্রস-লিঙ্কিং বিক্রিয়া শুরু করতে পারে। |
| রজন | এটি নিষ্ক্রিয় পলিমার, এবং একটি ফটোরেজিস্টে বিভিন্ন উপকরণকে একসাথে ধরে রাখার জন্য বাইন্ডার হিসেবে কাজ করে, যা ফটোরেজিস্টকে তার যান্ত্রিক এবং রাসায়নিক বৈশিষ্ট্য প্রদান করে। |
| মনোমার | এটি সক্রিয় দ্রাবক নামেও পরিচিত, এটি পলিমারাইজেবল কার্যকরী গোষ্ঠী ধারণকারী ছোট অণু এবং কম আণবিক ওজনের যৌগ যা উচ্চ আণবিক ওজনের রেজিন তৈরি করতে পলিমারাইজেশন বিক্রিয়ায় অংশগ্রহণ করতে পারে। |
| সংযোজন | এটি ফটোরেজিস্টের নির্দিষ্ট রাসায়নিক বৈশিষ্ট্য নিয়ন্ত্রণ করতে ব্যবহৃত হয়। |
ফটোরেজিস্টগুলিকে তাদের তৈরি চিত্রের উপর ভিত্তি করে দুটি প্রধান বিভাগে শ্রেণীবদ্ধ করা হয়: ধনাত্মক এবং নেতিবাচক। ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়া চলাকালীন, এক্সপোজার এবং বিকাশের পরে, আবরণের উন্মুক্ত অংশগুলি দ্রবীভূত হয়, যা অপ্রকাশিত অংশগুলিকে ছেড়ে দেয়। এই আবরণটিকে একটি ধনাত্মক ফটোরেজিস্ট হিসাবে বিবেচনা করা হয়। যদি অপ্রকাশিত অংশগুলি দ্রবীভূত হওয়ার সময় উন্মুক্ত অংশগুলি থেকে যায়, তবে আবরণটিকে একটি নেতিবাচক ফটোরেজিস্ট হিসাবে বিবেচনা করা হয়। এক্সপোজার আলোর উৎস এবং বিকিরণ উৎসের উপর নির্ভর করে, ফটোরেজিস্টগুলিকে আরও UV (ধনাত্মক এবং নেতিবাচক UV ফটোরেজিস্ট সহ), গভীর UV (DUV) ফটোরেজিস্ট, এক্স-রে ফটোরেজিস্ট, ইলেকট্রন বিম ফটোরেজিস্ট এবং আয়ন বিম ফটোরেজিস্ট হিসাবে শ্রেণীবদ্ধ করা হয়।
ফটোরেসিস্ট মূলত ডিসপ্লে প্যানেল, ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট এবং ডিসক্রিট সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসে সূক্ষ্ম-দানাযুক্ত প্যাটার্ন প্রক্রিয়াকরণে ব্যবহৃত হয়। ফটোরেসিস্টের পিছনে উৎপাদন প্রযুক্তি জটিল, বিভিন্ন ধরণের পণ্য এবং স্পেসিফিকেশন সহ। ইলেকট্রনিক্স শিল্পের ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উৎপাদন ব্যবহৃত ফটোরেসিস্টের উপর কঠোর প্রয়োজনীয়তা আরোপ করে।
ফটোকিউরেবল রেজিন উৎপাদন ও উন্নয়নে বিশেষজ্ঞ ২০ বছরের অভিজ্ঞতাসম্পন্ন প্রস্তুতকারক এভার রে, বার্ষিক ২০,০০০ টন উৎপাদন ক্ষমতা, একটি বিস্তৃত পণ্য লাইন এবং পণ্য কাস্টমাইজ করার ক্ষমতা নিয়ে গর্ব করে। ফটোরেজিস্টে, এভার রে-এর প্রধান উপাদান হিসেবে ১৭৫০১ রেজিন রয়েছে।











